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MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟
陈燕;王贞涛;罗惕乾
Mathematics Model and Numerical Analysis of the MOCVD Reactor
CHEN Yan, WANG Zhen-tao, LUO Ti-qian
排灌机械工程学报 . 2004, (
4
): 39 -41 . DOI: 10.3969/j.issn.1674-8530.2004.04.013