MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟

陈燕；王贞涛；罗惕乾

排灌机械工程学报 ›› 2004, Vol. 22 ›› Issue (4) : 39-41.

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排灌机械工程学报 ›› 2004, Vol. 22 ›› Issue (4) : 39-41. DOI: 10.3969/j.issn.1674-8530.2004.04.013

MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟

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Mathematics Model and Numerical Analysis of the MOCVD Reactor

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