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磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响
陈瑞芳, 高丽, 花银群, 颜红
Effect of sputtering parameters on texture of Cu films
Chen Ruifang, Gao Li, Hua Yinqun, Yan Hong
江苏大学学报自然科学版 . 2009, (5): 483 -486 .  DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2009.05.13