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蓝宝石湿法刻蚀各向异性特征的试验
张辉， 幸研
Experiment on anisotropic wet etching characteristics of sapphire
ZHANG Hui, XING Yan
江苏大学学报自然科学版 . 2020, (5): 530 -534 .  DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.006