基于磁控溅射制备的纳米铜薄膜的激光微冲击试验

刘海霞1, 叶云霞2, 薛青2, 陈瑞芳2, 花银群1,2

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (6) : 719-722.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2013, Vol. 34 ›› Issue (6) : 719-722. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2013.06.018
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基于磁控溅射制备的纳米铜薄膜的激光微冲击试验

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Laser micro shock processing experiment of nanometer copper thin films prepared by magnetron sputtering

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