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基于MEMS的压电泵及其研究进展
何秀华；张睿；蒋权英
Progress on piezoelectric micropump based on MEMS
HE Xiu-hua, ZHANG Rui, JIANG Quan-ying
排灌机械工程学报 . 2007, (4): 64 -68 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-8530.2007.04.017