硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响

丁建宁, 高晓妮, 袁宁一, 程广贵, 郭立强

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2010, Vol. 31 ›› Issue (3) : 300-303.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2010, Vol. 31 ›› Issue (3) : 300-303. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2010.03.0012
论文

硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响

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Influence of silane content on micro-structure and optical property of nc-Si：H films

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