蓝宝石湿法刻蚀各向异性特征的试验

张辉， 幸研

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2020, Vol. 41 ›› Issue (5) : 530-534.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2020, Vol. 41 ›› Issue (5) : 530-534. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.006
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蓝宝石湿法刻蚀各向异性特征的试验

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Experiment on anisotropic wet etching characteristics of sapphire

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