磁控溅射GeSbTe相变薄膜黏附与摩擦特性

付永忠, 程广贵, 王权

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2012, Vol. 33 ›› Issue (1) : 92-95.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2012, Vol. 33 ›› Issue (1) : 92-95. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2012.01.019
论文

磁控溅射GeSbTe相变薄膜黏附与摩擦特性

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Adhesion and friction properties of GeSbTe phase change films prepared by magnetron sputtering

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