磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响

陈瑞芳, 高丽, 花银群, 颜红

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2009, Vol. 30 ›› Issue (5) : 483-486.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2009, Vol. 30 ›› Issue (5) : 483-486. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2009.05.13
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磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响

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Effect of sputtering parameters on texture of Cu films

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