刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟

张辉1,2, 满青珊1, 贲伟1, 鲁士仿1, 秦晅1, 幸研2

江苏大学学报（自然科学版） ›› 2020, Vol. 41 ›› Issue (2) : 221-229.

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江苏大学学报（自然科学版） ›› 2020, Vol. 41 ›› Issue (2) : 221-229. DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.02.016
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刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟

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Effect of etching conditions on anisotropic etch rates of quartz and KMC simulation

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