纳米硅薄膜 ,晶态含量, 晶粒尺寸, 光学禁带宽度 ,电导率," /> 纳米硅薄膜 ,晶态含量, 晶粒尺寸, 光学禁带宽度 ,电导率,"/> nano-crystalline silicon films ,crystal content ,crystalline size ,optical band-gap ,conductivity,"/> 硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响
江苏大学学报(自然科学版)
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江苏大学学报自然科学版  2010, Vol. 31 Issue (3): 300-303    DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2010.03.0012
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硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响
[1]江苏大学微米纳米科学技术研究巾心,江苏镇江212013 [2]江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏常州213164 [3]常州市新能源工程重点实验室,江苏常州213164
Influence of silane content on micro-structure and optical property of nc-Si:H films
1.Center of Micro/Nano Science & Technology,Jiangsu University,Zhenjiang,Jiangsu 212013,China;2.Center of Low-dimension Materials,Micro/Nano Device and System,Jiangsu Polytechnic University,Changzhou,Jiangsu 213164,China;3.Key Laboratory of New Energy Engineering,Changzhou,Jiangsu 213164,China)

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